工業高純氫氟酸 現行
High purity hydrofluoric acid for industrial use
標準號：HG/T 4509-2013
基本信息
標準號：HG/T 4509-2013
發布時間：2013-10-17
實施時間：2014-03-01
首發日期：
出版單位：化工出版社查看詳情>
起草人：
出版機構：化工出版社
標準分類： 無機酸、堿
ICS分類：酸
提出單位：全國化學標準化技術委員會無機化工分技術委員會
起草單位：浙江凱恒電子材料有限公司 等
歸口單位：田志揚 等
發布部門：中華人民共和國工業和信息化部
標準簡介
本標準規定了工業高純氫氟酸的分級、要求、試驗方法、檢驗規則、標志、標簽、包裝、運輸、貯存和安全。本標準適用于工業高純氫氟酸。該產品主要應用于太陽能光伏電池、液晶顯示器件、集成電路和超大規模集成電路芯片的清洗、蝕刻，以及作為生產其他高純氟化物的原料等。
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